Redigerer Ionepistol

{{Språkvask}}

En '''ionepistol''' er en betegnelse som vanligvis brukes om et instrument som genererer en stråle av tunge [[ion]]er med en veldefinert energifordeling.<ref>{{Kilde artikkel|tittel=Surface investigation of solids by the statical method of secondary ion mass spectroscopy (SIMS)|publikasjon=Surface Science|doi=10.1016/0039-6028(73)90232-X|url=https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/003960287390232X|dato=1973-03-01|fornavn=A.|etternavn=Benninghoven|språk=en|bind=35|sider=427–457|issn=0039-6028|besøksdato=2021-03-11}}</ref>

Ionstrålen er produsert av et [[Plasma (fysikk)|plasma]] som er begrenset i volum. Ioner av en bestemt energi blir ekstrahert, akselerert, kollimert og/eller fokusert. Ionepistolen er sammensatt av en [[ionekilde]], ekstraksjonsstruktur og en kollimasjons-/linsestruktur. Plasmaet kan bestå av en [[Inertgass|inert]] eller reaktiv gass (f.eks. N<sup>+</sup> og O<sup>+</sup>) eller et lett kondenserbart stoff (f.eks. C<sup>+</sup> og B<sup>+</sup>).<ref>{{Kilde artikkel|tittel=Handbook of Physical Vapor Deposition (PVD) Processing|doi=10.1016/c2009-0-18800-1|url=http://dx.doi.org/10.1016/c2009-0-18800-1|dato=2010|besøksdato=2021-03-11}}</ref> Plasmaet kan dannes fra molekyler som inneholder stoffet som vil danne strålen, i så fall må disse molekylene fragmenteres og deretter ioniseres; for eksempel kan H og CH<sub>4</sub> sammen fragmenteres og ioniseres for å skape en stråle for avleiring av diamantlignende karbonfilmer.

== Design av ionepistoler ==
Nøkkelfaktorer i design av ionepistoler er:

* ionestrømtettheten (eller tilsvarende ionefluksen), som styres av [[ionekilde]]n,
* ioneenergispredningen, som primært bestemmes av [[ekstraksjonsgitter]]et,
* [[Optisk oppløsning|oppløsningen]] til ionestrålen, som primært bestemmes av [[Optisk kolonne|den optiske kolonnen]].<ref>{{Kilde bok|url=https://www.worldcat.org/oclc/437993485|tittel=Handbook of surface and interface analysis : methods for problem-solving|dato=2009|utgiver=CRC Press|isbn=978-1-4200-0780-0|utgave=2nd ed|utgivelsessted=Boca Raton|oclc=437993485}}</ref>

== Anvendelse ==
Ionepistolen er en viktig komponent i [[overflatevitenskap]] ved at den gir forskeren et middel til å sputte/etse en overflate og generere en elementær eller kjemisk dybdeprofil.<ref>{{Kilde bok|url=https://www.worldcat.org/oclc/58561723|tittel=Introduction to focused ion beams : instrumentation, theory, techniques, and practice|dato=2005|utgiver=Springer|isbn=0-387-23313-X|utgivelsessted=New York|oclc=58561723}}</ref> Moderne ionepistoler kan produsere strålenergier fra 10eV til mer enn 10keV.

== Referanser ==
<references />

{{Autoritetsdata}}

[[Kategori:Ionekilde]]
[[Kategori:Ioner]]
[[Kategori:Massespektrometri]]